scia Clean 1500 - Reinigung großer 3D-Substrate

durch Trockenreinigung

scia Clean 1500

Die scia Clean 1500 wurde für die Reinigung von großen 3‑dimen­sionalen Substraten mittels thermischer Desorption, Vakuum­desorption und Plasma­be­handlung entwickelt. Typische Anwendungen sind Reinigungen mit ultrahoher Reinheit von optischen Komponenten und medizinischen Objekten.

Die scia Clean 1500 verfügt über separate Heiz­­systeme für Kammer und Substrat. Dadurch wird ein sehr guter Basis­druck in der Kammer sicher gestellt, welcher nötig ist um auch kleinste Rest­konta­mina­tionen des Substrates mit dem Massen­spektro­meter messbar zu machen. Die Reinigung kann durch zusätzliche Plasma­quellen entsprechend kunden­spezifischer An­forderungen ver­bessert werden. Das Transport­system ist für Substrate mit einem Gewicht von bis zu 3 Tonnen ausgelegt.

Technische Daten

Kammer­größe

Bis zu 2,00 m x 3,00 m x 2,00 m

Plasma­quellen

Optionale Plasma­quellen PI400

Max. HF Leistung

2,5 kW pro Quelle

Arbeits­temperaturen

Kammer: Abkühlung auf 0°C; Aufheizung bis zu 150°C
Substrat: Aufheizung bis zu 250°C, mit Strahlungs­heizung

Qualitäts­kontrolle

Massen­spektro­meter zur Messung des Reinigungs­levels

Basisdruck

< 5 x 10-8 mbar

System­abmessungen (L x B x H)

9,00 m x 6,00 m x 4,00 m (mit Schaltschrank und Pumpen)

Anlagen­konfiguration

Transfer­system mit Transport­wagen für das Substrat, optionale Quellen­anzahl, Turbo- oder Kryo­pumpen

Software­schnittstellen

SECS II / GEM

Eigenschaften

  • Separate Aufheizung von Kammer und Substrat
  • Variable Menge an Plasmaquellen
  • Tansfersystem zur Beladung mit großen 3D-Substraten
  • Kontrolle der Reinigungsqualität mittels Massenspektrometer

Anwendungen

  • Reinigung mit ultrahoher Reinheit von Röntgenoptiken
  • Sterilisation von medizinischen Objekten (z.B.: Stents, Herzschrittmacher)
  • Reinigung und Entfettung von Metalloberflächen elektrischer Geräte

Prinzip Trockenreinigung

Prinzip der Plasmareinigung mit scia Clean 1500

Weitere Trockenreinigungssysteme

scia Clean 800
für höchste Reinigungsqualität