scia Multi 680 - Periodische Multilayer-Beschichtungen für Präzisionsoptiken

durch Magnetronsputtern

scia Multi 680

Die scia Multi 680 wurde zur periodischen Multi­­lagen­be­schichtung von Substraten mit einem Durch­messer von bis zu 650 mm und bis zu 50 kg Gewicht entwickelt. Typische An­­wen­dungen sind Spiegel mit Gradienten-Multi­lagen­schichten für weiche Röntgen­strahlung und Anti-Reflex-Beschichtungen für UV- und Röntgen­­anwendungen.

Die scia Multi 680 nutz 6 radial angeordnete Sputter­magnetrons, jedes in einem separaten Gehäuse mit individueller Gas­versorgung und einem definierten Emissions­profil. Das Substrat wird über Kopf kreisförmig über die Magnetrons bewegt, mittels eines zweiphasen gekoppelten Rotations­antriebs. Jede orbitale Rotation beendet eine Periode des Multi­lagen­stapels. Durch die Voraus­berechnung der Rotations­profile können individuelle Emissions­profile der Magnetrons kompensiert und benötigte Gradienten­schichten abgeschieden werden.

Technische Daten

Substrat­durchmesser

Bis zu 650 mm; Gewicht bis zu 50 kg

Sputter­quelle

Bis zu 6 rechteckige 24” Sputter­magnetrons

Sputter­modi

DC, HF, DC gepulst

Typische Abscheide­raten

Cr: 45 nm/min; Si: 22 nm/min; Ti: 22 nm/s

Homogenitäts­abweichung

< 0,1 % über 300 mm Durchmesser;
< 0,5 % über 450 mm Durchmesser

Basisdruck

< 1 x 10-8 mbar

System­abmessungen (L x B x H)

7,90 m x 4,40 m x 3,50 m (ohne Schaltschrank und Pumpen)

Anlagen­konfigurationen

1 Schleuse mit 1 Beschichtungs­kammer

Software­schnittstellen

SECS II / GEM

Eigenschaften

  • Trägerbasiertes Handlingsystem mit Schleuse, 2 individuelle Substratpositionen
  • Positionierung der Substrate über Kopf für minimale Partikelbelastung
  • Geschwindigkeitsveränderungen mit Orbitaler- und Spinrotation for homogene hochpräzise Schichten oder Gradienten auf gekrümmten Substraten
  • Beliebige Anordnung der Magnetrons für periodische Multilagen- und/oder Haft- oder Deckbeschichtungen
  • Einstellbarer Abstand zwischen Target und Substrat

Anwendungen

  • Multilagenstapel für:

    • Spiegeloptiken für Lithografie
    • Röntgenspiegel für Teilchenbeschleuniger und analytische Anwendungen

  • Multilagenbeschichtungen für Ultraviolette Übertragungsoptiken

Multilagen mit Magnetronsputtern

Prinzip der Multilagen Beschitung durch Magnetronsputtern mit scia Multi 680

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