Systeme zum Ionenstrahlsputtern

 

Multilagenbeschichtungen mit hoher Qualität auf Wafern bis zu 200 mm

  • Ionenstrahlsputtern
  • Duales Ionenstrahlsputtern (DIBS)
  • Ionenstrahlätzen (IBE)

 

Homogene Multilagenabscheidung auf großen Flächen für die Präzisionsoptik

  • Ionenstrahlsputtern
  • Duales Ionenstrahlsputtern (DIBS)
  • Ionenstrahlätzen (IBE)

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