Polierfehlerkorrektur für Linsen und Spiegel

Die scia Finish 1500 wird zur Oberflächenformfehlerkorrektur von hochpräzisen optischen Elementen eingesetzt. Durch schnelle Pumpzeiten und die hohen Abtragsraten der Ionenstrahlquelle ist das System für die Großserienproduktion mit 24/7-Betrieb geeignet.

Eigenschaften und Vorteile

Langzeitstabiler Prozess für reproduzierbare Qualität der optischen Komponenten
Hervorragende Präzision auf großen Flächen
Hohe Abtragraten für hohen Durchsatz
Einfache Beladung mit großen Substraten durch Schiebetüren
Ausgelegt für die Massenproduktion durch kurze Abpumpzeiten

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Anwendungen

Ergebnisse (links-vorher, rechts-nachher) für Ionenstrahlpolieren von SiN über 1500 mm, simuliert. Standardabweichung: vorher: 256 nm, nachher: 1,9 nm; Bereich: vorher: 1550 nm, nachher: 85 nm

Abschließende Oberflächenformfehlerkorrektur von Linsen und Spiegeln
- Teleskopspiegel (Zerodur®, SiC, LTEM)
- Konventionelle Optiken (Quarz und andere Gläser)
- Ionenstrahlpolieren von Röntgenoptiken (Si)

Prinzip

Fokussierter Ionenstrahl scannt über die Substratoberfläche, vertikaler Aufbau für möglichst geringe Kontamination
Verweilzeitkontrolle zur Entfernung verschiedener Mengen von Material

Technologien

Ionenstrahlpolieren / Ion Beam Figuring (IBF)
Bei der Polierfehlerkorrektur werden durch die Verweilzeitsteuerung des fokussierte Ionenstrahls Oberflächenformfehler korrigiert.

Technische Daten

Substratgröße (bis zu)	Ø 1500 mm, 400 kg
Achsenleistung	Max. Geschwindigkeit 0,15 m/s, max. Beschleunigung 15 m/s²
Ionenstrahlquelle	37 mm zirkulare HF-Quelle (RF37-i) mit 7 ... 15 mm (FWHM) oder 120 mm zirkulare HF-Quelle (RF120-m) mit 16 ... 36 mm (FWHM), optionale zweite Ionenstrahlquelle
Neutralisator	HF-Plasma-Brücken-Neutralisator (N-RF)
Typische Abtragraten	SiO₂: 14 mm³/h (RF37-i), 96 mm³/h (RF120-m)
Schichtabweichung nach dem Polieren	< 0,5 nm RMS (abhängig von Inputqualität)
Basisdruck	< 1 x 10^-6mbar
Systemabmessungen (L x B x H)	3,60 m x 7,70 m x 3,40 m (ohne Schaltschrank und Pumpen)
Konfiguration	Einzelkammer mit Schiebetüren, manuelle Beladung mit Transportwagen, 3-, 4- oder 5-Achsenkontrollsystem für die Ionenstrahlbewegung
Softwareschnittstellen	SECS II / GEM, OPC