Polierfehlerkorrektur für Linsen und Spiegel
Die scia Finish 1500 wird zur Oberflächenformfehlerkorrektur von hochpräzisen optischen Elementen eingesetzt. Durch schnelle Pumpzeiten und die hohen Abtragsraten der Ionenstrahlquelle ist das System für die Großserienproduktion mit 24/7-Betrieb geeignet.
- Abschließende Oberflächenformfehlerkorrektur von Linsen und Spiegeln
- Teleskopspiegel (Zerodur®, SiC, LTEM)
- Konventionelle Optiken (Quarz und andere Gläser)
- Ionenstrahlpolieren von Röntgenoptiken (Si)
Application Note
- Formfehlerkorrektur von Röntgenspiegeln
- Fokussierter Ionenstrahl scannt über die Substratoberfläche, vertikaler Aufbau für möglichst geringe Kontamination
- Verweilzeitkontrolle zur Entfernung verschiedener Mengen von Material
Technologien
Ionenstrahlpolieren / Ion Beam Figuring (IBF)
Bei der Polierfehlerkorrektur werden durch die Verweilzeitsteuerung des fokussierte Ionenstrahls Oberflächenformfehler korrigiert.
Technische Daten
Substratgröße (bis zu) | Ø 1500 mm, 400 kg |
Achsenleistung | Max. Geschwindigkeit 0,15 m/s, max. Beschleunigung 15 m/s² |
Ionenstrahlquelle | 37 mm zirkulare HF-Quelle (RF37-i) mit 7 ... 15 mm (FWHM) oder |
Neutralisator | HF-Plasma-Brücken-Neutralisator (N-RF) |
Typische Abtragraten | SiO2: 14 mm3/h (RF37-i), 96 mm3/h (RF120-i) |
Schichtabweichung nach dem Polieren | < 0,5 nm RMS (abhängig von Inputqualität) |
Basisdruck | < 1 x 10-6 mbar |
Systemabmessungen | 3,60 m x 7,70 m x 3,40 m |
Konfiguration | Einzelkammer mit Schiebetüren, manuelle Beladung mit Transportwagen, 3- oder 4-Achsenkontrollsystem für die Ionenstrahlbewegung |
Softwareschnittstellen | SECS II / GEM, OPC |
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Product Flyer scia Finish 1500
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scia Trim 200
zur präzisen Oberflächenkorrektur
von Wafern bis zu 200 mm
