Produktportfolio
Das breite Spektrum an Ionenstrahl- und Plasmaprozessanlagen ist flexibel und modular, von Einzelwaferschleusen bis hin zu Lösungen mit Kassettenhandling. Mehrere Vakuumprozesskammern können entsprechend der Kundenanforderungen in Clustersystemen oder in Durchlaufsystemen kombiniert werden.