Hochwertige Reinigung und Qualifizierung bis zu 800 mm im Durchmesser und 500 mm Höhe

Die scia Clean 800 wird zur Trockenreinigung von 3-dimensionalen Substraten mit einem Gewicht von bis zu 500 kg genutzt. Design und Funktionalität der Prozesskammer gewährleisten einen sehr guten Basisdruck und ermöglichen es, auch kleinste Verunreinigungen auf dem Substrat mittels Massenspektroskopie zu quantifizieren.

Eigenschaften und Vorteile

  • Geringer Basisdruck und schnelle Pumpzeiten durch elektropolierte und beheizte Vakuumkammer
  • Separate Substratheizung für gesteigerte Desorption
  • Qualifizierung der Restkontamination mittels hochsensibler Massenspektroskopie
  • Optionale Plasmaquelle für verbesserte Reinigung mit H2-Plasma
  • Rezeptsteuerung für reproduzierbare Temperaturrampen und vollautomatische Reinigungszyklen
  • Beladekran für große und schwere Substrate

Anwendungen

  • Reinigung von Röntgenoptiken mit ultrahoher Reinheit
  • Reinigung von Komponenten für Strahlleitungsbeschleuniger
  • Ausgasungsqualifizierung von komplexen Vakuumbaugruppen

Prinzip

  • Trockenreinigung
    • Entfernung von Verschmutzungen von 3D-Substraten mit Ultrahochvakuum (Vakuumdesorption)
    • Zusätzliche Reinigung möglich durch optionale Substrat- und/oder Kammerbeheizung (Thermische Desorption) sowie Plasmavorreinigung

Technische Daten

Substratgröße (bis zu)

800 mm Durchmesser, 500 mm Höhe, 500 kg

Substratheizung

Strahlungsheizer (4,5 kW) bis zu 250 °C

Kammerheizung und -kühlung

Druckwasserbasierte Heizung bis zu 150 °C und Kühlung (8 kW)

Plasmaquelle

Optionale ICP-Plasmaquelle (PI400), max. 2,5 kW

Basisdruck

< 5 x 10-9 mbar

Qualitätskontrolle

Massenspektrometer zur quantitativen Ausgasungsmessung

Systemabmessungen (L x B x H)

1,30 m x 2,50 m x 1,40 m (ohne Schaltschrank und Pumpen)

Konfiguration

Einzelkammer mit Deckelöffnung oben, optionaler Beladekran für große und schwere Substrate

Softwareschnittstellen

SECS II / GEM, OPC

Weitere Systeme zur Trockenreinigung

scia Clean 1000/1500/3000

für hochwertige Reinigung und Qualifizierung
bis zu Ø 3 m und 3,4 m Länge