3D-Beschichtung in Chargen

Die scia Batch 350 wurde für biokompatible Beschichtungen von 3-dimensionalen Substraten entwickelt. Dabei ermöglicht das Carrierkonzept verschiedene Substratgrößen und –formen in einer Charge. Mit seinem stabilen, reproduzierbaren und zertifizierten Prozess erfüllt das System die hohen Standards für die Bearbeitung medizinischer Objekte.

Eigenschaften und Vorteile

  • Carrierbeladung ermöglicht die Beschichtung von verschiedenen Substratgrößen und -mengen in einem Batch
  • Zwei eigenständige HF-Elektroden sorgen für hohen Durchsatz
  • Individuelle Substratdrehung führt zu einer homogenen "Rundumbeschichtung"
  • Hervorragende Barriereeigenschaften und vollkohäsiver Film auch bei mechanischer Verformung
  • Kombination aus Aufheizung, Plasmavorbehandlung und PECVD-Beschichtung
  • Flexibilität bei Gas- und HF-Bedingungen

Anwendungen

  • 3D-biokompatible Barriereschichten für medizinische Objekte (z.B.: Stents, Herzschrittmacher)

Prinzip

Technische Daten

Substratgröße

2 Carrier mit individuellen Substratgrößen beladen, Carrier-Größe bis zu 350 mm x 240 mm

Substrat-Carrier

Wassergekühlt, gepulste DC-Vorspannung (2 kV, 400 mA)

Plasmaquelle

HF-Parallelplattenanordnung, 13,56 MHz

Leistungsversorgung

HF-Leistung max. 2 x 600 W

Elektrodenkonfiguration

Temperatur: Aufheizung bis zu 400 °C; Abstand: Justierbar zwischen 50 mm und 150 mm

Betriebsmodi

Unabhängige oder gekoppelte Elektroden

Typische Abscheiderate

SiC: 5 nm/min

Basisdruck

< 5 x 10-7 mbar

Systemabmessungen (L x B x H)

0,90 m x 1,70 m x 2,20 m (ohne Schaltschrank und Pumpen)

Konfiguration

Einzelkammer mit manueller Beladung in Chargen

Softwareschnittstellen

SECS II / GEM, OPC

 

Weitere PECVD/RIE Systeme

scia Cube 300

zum großflächigen Ätzen und Beschichten
über 300 mm x 200 mm

scia Cube 750

zum großflächigen Ätzen und Beschichten
über 750 mm x 750 mm