Multilagenbeschichtung für große Substrate bis 680 mm im Durchmesser

Die scia Multi 680 wurde für die periodische Multilagenbeschichtung von gekrümmten Substraten entwickelt. Durch die ausgezeichnete Prozessleistung über mehrere 100 mehrschichtige Perioden hinweg können Gradientenschichten mit hoher Präzision abgeschieden werden. Die automatische Substratbeladung mit einer separaten Schleuse stellt kurze Ladezeiten und hohen Durchsatz sicher.

Eigenschaften und Vorteile

  • Gleichzeitige orbitale und Spinrotation für homogene hochpräzise Schichten oder Gradienten auf gekrümmten Substraten
  • 6 Magnetrons; jedes in einem separaten Gehäuse mit individueller Gasversorgung und einem definierten Emissionsprofil
  • Optionale Vorbehandlung mit zusätzlicher Ionenstrahlquelle
  • Trägerbasiertes Handlingsystem mit Schleuse und 2 individuellen Substratpositionen
  • Positionierung der Substrate kopfüber für minimale Partikelbelastung

Anwendungen

  • Gradienten-Multilagenbeschichtungen von Spiegeloptiken für Lithografie- und Antireflexbeschichtungen
  • Multilagenstapel für Röntgenspiegel für Teilchenbeschleuniger und analytische Anwendungen
  • Multilagenbeschichtung für UV-Übertragungs- und VIS-Optiken

Prinzip

  • Magnetronsputtern
    • Kreisförmige Substratbewegung über die Magnetrons, jede orbitale Rotation beendet eine Periode des Multilagenstapels
    • Vorausberechnung der Rotationsprofile, um individuelle Emissionsprofile der Magnetrons zu kompensieren

Technische Daten

Substratgröße (bis zu)

Ø 680 mm, 130 kg

Sputter-Quellen

6 rechteckige Magnetrons (600 mm x 90 mm), Ionenstrahlquelle möglich

Sputter-Modi

DC im cw- oder gepulsten Modus (1 kW) und/oder
HF (1 kW, 13,56 MHz)

Typische Abscheiderate

Cr: 45 nm/min, Si: 22 nm/min, Ti: 22 nm/min

Homogenitätsabweichung

< 0,1 % (σ/mean) über Ø 300 mm,
< 0,2 % (σ/mean) über Ø 450 mm

Basisdruck

< 1 x 10-8 mbar

Systemabmessungen (L x B x H)

7,90 m x 4,40 m x 3,50 m (ohne Schaltschrank und Pumpen)

Konfiguration

Einzelkammer mit Schleuse für zwei Substrate

Softwareschnittstellen

OPC

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