Videovortrag: Wie Sie Ihre Optiken mit Ionenstrahlätzen strukturieren

Für die Bearbeitung von Optiken bietet scia Systems verschiedene Anlagen und Technologien an, zum Beispiel zum Ionenstrahlätzen, Ionenstrahlabscheidung und Kathodenzerstäubung (Magnetronsputtern). In diesem Video liegt der Fokus unseres Technical Sales Managers Philipp Böttger auf dem Ionenstrahlätzen und wie diese Technologie Ihnen bei der Strukturierung Ihrer Optiken helfen kann.

Durch das Einbringen von Reaktivgasen in den Ätzprozess, dem sogenannten Reaktiven Ionenstrahlätzen (Reactive Ion Beam Etching), ist es möglich, die Selektivität verschiedener Oberflächenmaterialien zu steuern oder sogar die Ätzrate zu erhöhen. Damit eröffnen sich verschiedene Anwendungsmöglichkeiten, von denen Philipp Böttger zwei vorstellt:

Das erste ist die proportionale oder nicht-proportionale Strukturübertragung von einer Resistmaske mittels reaktivem Ionenstrahlätzen. Das zweite Anwendungsbeispiel ist die Herstellung von Oberflächenreliefgittern, die als Eingangs- oder Ausgangskoppler in Lichtwellenleitern für Augmented-Reality-Geräte eingesetzt werden.

 

Das Video mit der englischen Präsentation finden Sie hier:

 

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Technologie

 

Erfahren Sie mehr über Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE) und Chemisch-unterstütztes Ionenstrahlätzen (CAIBE) in unserem Technologie-Überblick.

Anwendung

 

In unserer Application Note zeigen wir Ihnen die Vorteile des Reaktiven Ionenstrahlätzens zur Herstellung von Oberflächenrelief-Gittern für AR- und VR-Geräten.

Produkt

 

Die scia Mill 200 ist ein fertigungserprobtes System mit Reaktivgaskompatibilität für RIBE- und CAIBE-Prozesse, inklusive Fluor-/Chlorgase.

 

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