Videovortrag: Ionenstrahltrimmen von piezoelektrischen Materialien

Das Ionenstrahltrimmen ist eine spezielle Variante des Ionenstrahlätzens, bei dem ein fokussierter Ionenstrahl über den Wafer scannt. Der genaue Materialabtrag wird dabei durch die Einstellung der Verweilzeit gesteuert.

Im folgenden Video zeigt unser Verkaufsleiter Marcel Demmler den Ionenstrahl-Bearbeitungsprozess und stellt unsere Prozesslösung scia Trim 200 vor, mit der sich die Fertigungsausbeute von piezoelektrischen Bauteilen deutlich verbessern lässt. Abschließend zeigt er Ihnen zwei Anwendungsbeispiele inklusive der dazu gehörenden Prozessergebnisse.

Das Video mit der Präsentation auf Englisch finden Sie hier:

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Technologie

 

Erfahren Sie mehr über den Prozess des Ionenstrahltrimmens & und Ionenstrahlpolierens, einer Form des Trimmens für optische Substrate. 

Anwendung

 

In unserer Application Note zeigen wir Ihnen, wie Ionenstrahltrimmen die Oberflächenhomogenität von POI-Wafern für HF-Filter drastisch verbessert.

Produkt

 

Die scia Trim 200 ist ein Hochleistungs-Produktionssystem für die präzise Oberflächenkorrektur von Wafern bis zu 200 mm.

 

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scia Systems GmbH
Annaberger Str. 240
09125 Chemnitz

 

Tel: +49 371 5347 780

✉   sales@scia-systems.com

Weitere Informationen

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