Videovortrag: Ätzen von optischen Gittern für Wellenleiter

In seinem Vortrag präsentiert Verkaufsleiter Marcel Demmler wir die neuesten Ergebnisse zum Ätzen von optischen Reliefgittern (slanted relief grating, SRG), die als Ein- und Auskopplungsgitter in Wellenleitern für Augmented- oder Mixed-Reality-Geräte verwendet werden.

Das kleinere Eingangsgitter beugt das von einem Display kommende Licht in den Wellenleiter. Am Auskoppelgitter wird das Licht in Richtung des Betrachters gebeugt. Die geometrische Dimension der Gitter muss dabei kleiner sein als die Wellenlänge des Lichtes. Es gibt verschiedene Ansätze für das Design von Koppelgittern. Eine Variante ist das so genannte SRG, welches im Vergleich zu anderen Varianten eine höhere Kopplungseffizienz aufweist. Dafür werden geneigte Gräben in den Wellenleiter geätzt, der typischerweise eine Platte aus einem Material mit hohem Brechungsindex ist.

Die Fertigungsherausforderungen für SRG sind die Kontrolle der Ätztiefe, des Schrägwinkels und des Bodenwinkels. Marcel Demmler stellt in seiner Präsentation ein System vor, in dem diese Gitter durch reaktives Ionenstrahlätzen in Massenproduktion hergestellt werden können. Abschließend zeigt er anhand von Beispielen, wie die Prozessparameter variiert werden können, um die Gittergeometrie zu steuern.

 

Das Video mit der englischen Präsentation finden Sie hier:

 

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Technologie

 

Erfahren Sie mehr über Reaktives Ionenstrahlätzen (RIBE) und Chemisch-unterstütztes Ionenstrahlätzen (CAIBE) in unserem Technologie-Überblick.

Anwendung

 

In unserer Application Note zeigen wir Ihnen die Vorteile des Reaktiven Ionenstrahlätzens zur Herstellung von Oberflächenrelief-Gittern für AR- und VR-Geräten.

Produkte

 

Mit der scia Mill 150 und scia Mill 200 bieten wir zwei Systeme mit Reaktivgaskompatibilität für RIBE- und CAIBE-Prozesse, inklusive Fluor-/Chlorgase

 

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