Kompetenz in Dünnschichttechnologie

scia Systems entwickelt Equipment für Prozesse zur präzisen Oberflächen­­­­bearbeitung, basierend auf Ionenstrahl- und Plasmatechnologien. Die Anlagen werden für verschiedene Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungsprozesse, insbesondere in den Industriezweigen MEMS, Mikroelektronik und Präzisionsoptik eingesetzt. Durch ihren flexiblen und modularen Aufbau können die Systeme sowohl für Forschungsanwendungen als auch für die Großserienfertigung konfiguriert werden. Sie eignen sich für die Bearbeitung von kleinen Substratgrößen auf Carriern über Substraten auf Basis von Siliziumwafern bis hin zu Substraten mit bis zu 3 m Durchmesser.

Produkte

Unsere Systeme sind flexibel und modular auf­gebaut. Dadurch können wir Ihnen sowohl Standard- als auch Individual­lösungen anbieten.

Anwendungen

Unsere Anlagen werden vorrangig für die Her­stel­lung von MEMS & Präzisionsoptiken, aber auch in der Astronomie & Medizintechnik genutzt.

Unternehmen

Anspruchsvoll die neusten Technologien voran­treiben und sich dabei ständig weiterentwickeln - das macht scia Systems aus. 

scia Systems erhält einen Auftrag für eine scia Etch 300 von der Ernst-Abbe-Hochschule Jena

Die Ernst-Abbe-Fachhochschule Jena, die zugleich die größte und forschungsstärkste Fachhochschule Thüringens ist, hat kürzlich eine scia Etch 300 erworben. Die Anlage ist in der Lage, mit einem speziellen reaktiven Ionenätzverfahren (RIE) hochentwickelte optische Oberflächen mit anti-reflektiven Nanostrukturen herzustellen. Sie bearbeitet sowohl flache Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 300 mm als auch stark gekrümmte, voluminöse, dreidimensionale Objekte wie Linsen, Spiegel und Prismen.

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OFC

2024-03-26 bis 2024-03-28
San Diego, USA
Stand: 910 (Standplan)
Partner vor Ort: AARD Technology

SPIE Optical Systems Design

2024-04-09 bis 2024-04-10
Straßburg, Frankreich
Stand: 113S (Floorplan)
Präsentation am 8. April: Improving Aug­mented Reality: Ion Beam Processing of Slan­ted Surface Relief Gratings von M. Lötsch (Details)

CS International

2024-04-16 bis 2024-04-17
Brüssel, Belgien
Präsentation am 16. April: Cutting-edge SiC Manufacturing: Beyond Chemical-Mechanical Constraints von Philipp Böttger (Details)
 

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