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scia Mill 200 für das Fraunhofer ENAS

Erneut setzt die Fraunhofer Gesellschaft ihr Vertrauen in eine Ionenstrahlätzanlage von scia Systems. Den Zuschlag erhielt scia Systems für die Lieferung einer scia Mill 200 an das Fraunhofer Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS. Die Anlage, mit Aufstellungsort Chemnitz, soll der Strukturierung von magnetischen Multilagen für GMR-Stacks (engl. giant-magneto-resistance) oder TMR-Stacks (engl. tunnel-magneto-resistance) auf standardisierten 200 mm Silizium-Wafern dienen.