scia Systems erhielt den Zuschlag bei einer Ausschreibung über eine Ionenstrahlätzanlage für das Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS.

Wir freuen uns, dem Fraunhofer IMS eine scia Mill 200 zu liefern. Die Ionenstrahlätzanlage mit Endpunktdetektionsystem wird im Rahmen der vom BMBF unterstützten Initiative „Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland“ in das Mikrosystemtechniklabor des Institutes integriert. Sie soll vorrangig der Prozessentwicklung und Herstellung von MEMS dienen, zum Beispiel für Infrarotdetektoren, Drucksensoren und biokompatible MEMS-Systeme. Dabei werden insbesondere Materialien strukturiert, die sich nicht klassisch mittels RIE ätzen lassen oder Geometrien mit hohen Aspektverhältnissen aufweisen.