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Teilnahme am Verbundprojekt - ALMET

Zusammen mit den Projektpartnern arbeitet scia Systems im Rahmen des von der Sächsischen Auf­baubank mit EFRE-Mitteln geförderten ALMET-Projektes an der Entwicklung von Anlagen und Prozes­sen für die Atomlagenabscheidung metallischer Dünnschichten (mALD). Ziel des Projektes sind Prozes­se zur Erzeugung von formtreuen Kupfer- und Kobaltdünnschichten in einem industriell nutz­baren ALD-Reaktor. Der Reaktor realisiert plasmagestützte ALD (PALD) in einem speziellen Kammer-in-Kammer-Design. scia Systems bringt seine Erfahrung und sein Know-how mit Engagement in das Projekt ein.