Magnetfeld­sensoren für flexible und tragbare Geräte sind in vielen Bereichen die Grundlage von Bewegungserkennung, z.B. Industrierobotik, über die Prothetik, bis hin zu Virtual- und Augmented-Reality-Anwendungen.

Sensoren, die auf dem Riesenmagnetowiderstandseffekt (Giant Magnetoresistance, GMR) beruhen, lassen sich mit Hilfe eines Polymerträgers auf Polymerfolien mit einer Materialdicke von 1 μm bis zu 150 μm drucken.

Diese GMR-Technologie stellt hohe Anforderungen an eine Beschichtungsanlage. So erfordern GMR-Stapel, die in der Regel aus mehreren, etwa 1 nm dicken Co- und Cu-Schichten bestehen (Abb. 1), eine Genauigkeit der Schichtdicke von besser als 0,1 nm. In unserer neuen Application Note geben wir einen Einblick in die Herstellung dieser Sensoren

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